氧氣傳感器的發(fā)展方向
無論是在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、能源、交通、醫(yī)療、生態(tài)環(huán)境等各個方面,還是在日常生活中,氧是需要控制與測量最多的一種物質(zhì)元素。氧氣是人類生命所不可缺少的元素,因此氧氣傳感器已成為各類傳感器中一種十分重要的器件,具有廣泛的用途。
目前實(shí)用化氧氣傳感器中,各種傳感器各具特色,但極限式氧傳感器由于具有選擇好、靈敏度高、無須參考?xì)怏w等優(yōu)點(diǎn),已成為氧氣傳感器的主要發(fā)展方向。極限式氧傳感器本身也朝著小型化、平面化、集成化方向發(fā)展。
隨著人類文明的進(jìn)步,對生活質(zhì)量及環(huán)境保護(hù)要求的提高,會對氧氣傳感器的特性提出更高的要求,這就激勵我們必須不斷地進(jìn)行深入研究,開發(fā)出性能更優(yōu)異的氧傳感器來滿足人們的要求。
隨著科技的進(jìn)步,新一代氧氣傳感器的制作,將會朝向微小化、集成化、智慧化方面發(fā)展,其中以硅為基板材料的微制作過程與微細(xì)加工技術(shù),可將感測元件推往平面化及微小化,對未來氧氣傳感器的發(fā)展及大量生產(chǎn)將有很大幫助。