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作為空氣質(zhì)量中主要指標(biāo)的氧濃度，已越來越受到各方的重視。在中國(guó)，環(huán)保意識(shí)正走入千家萬戶，開始喚起人們的氧意識(shí)。為適應(yīng)氧濃度測(cè)量及控制的迫切需求，人們已開發(fā)了多種氧氣傳感器，并在十分廣闊的領(lǐng)域得到應(yīng)用。

氧氣是人類生命所不可缺少的元素，因此氧傳感器已成為各類傳感器中一種十分重要的器件，具有廣泛的用途。

目前實(shí)用化氧氣傳感器中，各種傳感器各具特色，但極限式氧氣傳感器由于具有選擇好、靈敏度高、無須參考?xì)怏w等優(yōu)點(diǎn)，已成為氧氣傳感器的主要發(fā)展方向。極限式氧氣傳感器本身也朝著小型化、平面化、集成化方向發(fā)展。

隨著人類文明的進(jìn)步，對(duì)生活質(zhì)量及環(huán)境保護(hù)要求的提高，會(huì)對(duì)氧氣傳感器的特性提出更高的要求，這就激勵(lì)我們必須不斷地進(jìn)行深入研究，開發(fā)出性能更優(yōu)異的氧氣傳感器來滿足人們的要求。

隨著科技的進(jìn)步，新一代氧氣傳感器的制作，將會(huì)朝向微小化、集成化、智慧化方面發(fā)展，其中以硅為基板材料的微制作過程與微細(xì)加工技術(shù)，可將感測(cè)元件推往平面化及微小化，對(duì)未來氧氣傳感器的發(fā)展及大量生產(chǎn)將有很大幫助。